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微系统重点实验室

   1. 基本情况

辽宁省微系统重点实验室于20108月通过辽宁省科技厅验收,正式成立。属集成电路领域,是辽宁省唯一的省级微系统重点实验室。

实验室拥有国际先进的集成电路设计EDA平台,半导体工艺 仿真平台,覆盖主要工艺步骤的半导体单步工艺实验室以及集成 电路芯片测试设备。实验室积极探索理论与实践相结合的产学研一体化模式,现设有四个研发团队:

1)超大规模集成电路设计与 测试;

2)嵌入式系统软硬件开发;

3)半导体工艺制造;

4)半导体器件及集成电路 测试。


本重点实验室承接辽宁省发改委、辽宁省科技 厅、辽宁省教育部、大连市信产局等几十个横纵向科研项目。申请多项科研专利。获得十余项省级以上重 点支持专业类建设项目及省级教学改革立项,累计科研进款上千万元。

实验室现有管理和科研教师共15人,其中,博士8名,硕士7名,省级教学名师1名,中高级以上职称比例达53%,具有三年以上企业工作经验者的比例达73%

2. 科研成果(项目、论文、专利等)

实验室承担省自然科学基金2项,省科学事业公益研究基金1项,省博士启动基金项目3项,省教育厅一般项目5项,大连市科技计划项目4项,大连市高新区集成电路设计产业化专项1项,企业横向科研项目7项。累计发表科研论文50余篇,其中SCI检索论5篇,EI检索论文20余篇。申请国家发明专利1项(专利号:201410146807.6,实审2年),实用新型专利1项,集成电路布图著作权1项(BS.145500101)。


制备纳米敏化材料太阳能电池

手工太阳能电池

3. 技术服务和成果推广

1)为东软集团股份有限公司研发了第三代防火墙产品,完成了基于FPGA的系统级芯片的设计开发,将东软股份网络安全部在网络安全方面的技术优势与系统级芯片设计紧密结合,以集成电路芯片的形式,固化已有的知识产权,在全国乃至世界范围内,形成并确立领域内的技术优势。

2)为北京博谦工程技术有限公司研发的高压静电除尘控制装置已在江阴特钢厂、宝钢、包钢等数十家企业的静电除尘设备上应用,除尘净化率达到欧3标准,属国内替代进口产品的先进水平;为盘锦恒岳科技有限公司研发的三相电机智能节电设备在油田抽油机上的应用,节电率达到60%-70%,属国内领先水平;

3)自主研发设计了晶闸管三相交流调压及可控整流数字专用集成电路DTC6124M以及三相异步电机调压型节能控制器芯片DTC6124N两款芯片,并完成了流片及相关的测试工作。目前已与北京博谦工程技术有限公司、北京朝阳自动化、中科院电工所等单位达成初步合作意向,正在有序进行工业应用开发与市场推广工作;

4)拥有覆盖主要工艺步骤的半导体单步工艺实验室、测试设备,以及整套的SILVACO TCAD工艺仿真和器件仿真工具,能够从事半导体材料、半导体单步工艺、半导体器件制备与测试等领域的教学研究工作。目前,已经成功申报了十余项省级纵向科研项目。

 4. 研发条件和设备

实验室拥有目前国际先进的集成电路设计EDA工具,包括Mentor GraphicsSynopsys公司大学 计划的全套EDA工具,其商业价值达到9000万美金;拥有标准JTAG仿真器、Keil IDEIAR IDE Cadence电路原理图、PCB图设计开发软件等设计环境与工具。经过多年科研和教学积累,实验室已经拥有了一个小型化集成电路制造工艺生产线的全套工艺设备,能够完成氧化、淀积、光刻、刻蚀、扩散、平坦化等整个半导体集成电路工艺制备流程。

 5. 人才培养

1)实验室能够为大连东软信息学院电子工程系集成电路设计与系统、微电子科学与工程、 电子信息工程3个本科专业提供一流的实践教学服务,也能为其他兄弟院校电子信息工程相关专业提供学生实习服务。年接纳实验、实习、实训学生超过300人规模,年指导本科毕业生达到100人以上。

  2)通过CO-OP教育平台,遴选优秀本科学生进入实验室参与科研项目工作。学生通过一年的实验室工作,既锻炼了专业能力、培养了专业素质,同时对实验室的科研项目也起到了非常好的促进作用。目前,通过此种机制,已经培养出3名工程硕士、2 0余名本科毕业生。其中,多人被国际著名公司成功录用。