“天仁微纳” 微纳技术联合实验室由智能与电子工程学院微电子工程系与青岛天仁微纳科技有限责任公司共建,校企双方自 2019 年开启校企合作,获评校企合作校级示范基地。青岛天仁微纳科技有限责任公司成立于2015年,是世界领先的纳米压印设备和解决方案提供商,作为国内该领域唯一一家能与欧洲设备公司“掰手腕”的天仁微纳,实现了国产替代,迅速占领了国内超过90%的市场份额,成为该领域市场的领头羊。
新一代纳米压印工艺作为一种先进的光刻工艺,是微纳结构制备工艺中一种全新的图形转移技术。产品适用于发光二极管(LEDs)、微纳机电系统(MEMs/NEMs)、虚拟现实和增强现实光波导(AR Waveguides)、3D 传感、生物芯等多种产品领域。
“共培育”校企人才共育机制:董事长多次参与专业人才培养方案论证。实验室师资由校内教师、企业教师和行业专家组成,校企联动提升师资水平。学生参与企业实习实践项目,连续多年实现就业定向输送。截至目前,企业录用毕业生达70余人。致力于培养适应半导体产业需求的高素质应用型工程技术人才,推动纳米压印技术在教学、科研与产业中的应用与发展。
显示领域WGP、微透镜阵列、投影 ……生物芯片微纳流道、纳米孔柱阵列……AR眼镜衍射光波导、 摄像头 ……车载光学迎宾光毯、 AR HUD、车灯、氛围灯……消费类电子产品人脸识别、3D传感、屏幕指纹识别 ……
“聚能式”校企双端实验室建设:企业捐赠纳米压印设备,其制程达50nm以下。从场地装修到设备运维、从工艺到检测的全链条描述。学校"工艺开发"与企业"表征测试"形成正向反馈循环,建成校企协同的微纳结构制备—表征全流程教学平台,实现资源高效利用和校企双端实验室闭环建设。
“真实践”校企共建配套课程资源:企业专家担任兼职教师、毕设及学科竞赛指导教师,直接参与实验资源建设20余项,确保技术研发与产业需求紧密对接。协同行业专家打造纳米压印前沿技术与教学实践结合的微电子共建教材,截至目前已出版2本共建教材,为专业教学提供前沿教学资源。
“协同式“科研竞赛联合孵化:助力纳米压印技术相关的前沿交叉学科领域开展研究,教学竞赛,在电子信息类专业教师授课竞赛中获国一2项,国二1项。学科竞赛,带动学生竞赛参与广度,提升学生创新能力和综合素质。近年来,获得学科竞赛榜单赛事国家级奖项若干,其中3项国一。