为深化产教融合，推进高水平实验实训室与产业学院应用场景建设，微电子工程系与实验实训中心于近日联合组织开展了“微电子VR实训设备操作培训”。实验中心张志亮主任、微电子工程系王森主任，以及微电子专业教师和实验中心教师共同参加，紫光教育工程师李正浩担任主讲培训师。本次培训聚焦新装配的VR虚实联动设备板卡，通过VR交互实操与教学应用研讨，推动实验教学改革，为集成电路人才培养注入新动能，双方围绕设备操作、教学应用与未来规划进行了深入交流与研讨。

√  掌握新设备基本操作与VR交互逻辑

√  对齐教学差异化需求与故障排查功能

√  为高水平实验室与产业学院夯实基础

设备操作演示

教师交流研讨

参数设置讲解

01 工艺仿真与VR设备基础操作

紫光培训师完整演示了从衬底材料选择（硅、硼掺杂）、晶向设置（100/110/111）到氧化工艺（湿法/干法、时间温度）的仿真流程。参训教师亲身体验了从网格划分、衬底参数设置到单步工艺仿真的完整操作，对工艺参数与器件性能的关联有了更直观的认知。

VR交互亮点： 左手柄负责界面交互与流程卡动，右手柄负责具体物理操作（如EUV光刻、原子层）。系统区分“练习模式”与“闯关/考核模式”——练习模式配备语音及界面提示，适合学生初次上手；闯关模式无提示，需独立完成全流程，有效检验学习成效，满足不同教学场景需求。

值得关注的是，设备故障排查功能预计于8-9月正式发布，届时将为校方提供免费升级。该功能上线后，学生不仅能够“会操作”，更能“懂原理、能排故”，实现从流程模仿到问题解决的跨越，有效弥补当前虚拟仿真教学在故障诊断训练方面的短板。经过这样系统训练的学生，将直接对接半导体工艺工程师、设备工程师、封装工程师等岗位的核心能力要求，缩短从校园到企业的适应周期。

设备操作演示

02 未来规划：VR实训赋能实践教学新体系

本次培训为后续实验教学改革奠定了坚实基础。专业教师围绕“AI赋能+虚实融合”方向，深入探讨了课程资源迭代、学生能力画像及故障模拟实训等创新点。

未来将依托VR设备，构建“工艺仿真→设备认知→故障诊断”的完整实践链条，把新设备深度融入微电子科学与工程、集成电路设计与集成系统等专业的核心课程，同时面向“半导体器件与工艺”微专业及跨专业选修课程开放，让学生在“动手操作”中掌握工艺原理，在“故障排查”中锤炼工程思维，为高水平实验室和产业学院应用场景建设提供有力支撑。

本次培训加深了教师对新设备的理解，明确了后续教学优化方向，为半导体人才培养和高水平实验室·产业学院建设注入了新活力。