日期：2025年9月
供稿：智能与电子工程学院

近日，我院智能与电子工程学院教师曹海燕作为第一作者，在北大核心期刊《传感器与微系统》2025年第4期上发表题为《电容式压力传感器的设计和仿真分析》的科研论文。该研究针对微机电系统（MEMS）中广泛应用的电容式压力传感器进行了结构优化与仿真分析，为高性能传感器的设计与制造提供了重要理论依据。

研究亮点概述

本研究提出一种新型电容式绝对压力传感器结构，采用深硅刻蚀与外延工艺实现真空腔体制备，避免了传统键合工艺的复杂性，实现了MEMS结构与CMOS工艺的兼容。通过Ansys有限元仿真软件，系统分析了敏感膜的形状（方形/圆形）和尺寸对传感器灵敏度、线性度等关键性能的影响。

图1 方膜电容式压力传感器结构

图2 圆膜和方膜传感器的曲线对比

科研价值与意义

本研究不仅为电容式压力传感器的优化设计提供了仿真基础，也为后续实际制备与电路集成奠定了理论支撑。论文成果体现了学院在智能传感、微系统设计与仿真等方向的科研实力，是“现代半导体产业学院”在智能制造与传感技术领域深度融合产学研的又一体现。