来源时间：2023年5月

学生姓名: 孙毅

指导教师: 曹海燕

作品简介：

该作品采用TCAD工具对100V SGT功率器件进行设计、仿真及流片。首先基于电学性能设计指标，确定SGT的结构参数并设计SGT的工艺流程；然后通过Athena仿真获得器件的2D结构；再利用Atlas仿真软件得到器件的电学性能，并不断优化器件结构以满足设计指标；最后对该器件进行流片，实现一款中低压功率器件，广泛应用在新能源汽车、电子产品、通讯等领域。

创新点：

该作品的设计将企业中相关技术的典型工作任务要求与专业课程的半导体器件设计、仿真与制备等教学内容有机结合来，充分体现了该作品的职业性、实践性和开放性。